我廠某高新產(chǎn)品基座需作平面度，該平面與大地有一75°的傾角，傳統(tǒng)上，我廠大平面測(cè)量平面度用拉鋼絲或平面掃描儀的辦法，因撓度和人為誤差的影響，拉鋼絲測(cè)量結(jié)果精度太低，平面掃描儀只能作接近水平的平面度，故這兩種傳統(tǒng)方法都無法測(cè)量。后來采用瑞典EASY-LASER™激光幾何測(cè)量系統(tǒng)，方法簡單，測(cè)量精度高，為該高新產(chǎn)品如期高質(zhì)量的完成打下良好的基礎(chǔ)?，F(xiàn)將該方法作一介紹。

1.測(cè)量原理

采用激光的直線性（無撓度）的特性，將一旋轉(zhuǎn)激光發(fā)射器放置在被測(cè)平面任一角，調(diào)整后將其激光掃過一個(gè)90度范圍的平面，另有一高精度（0.001mm）接受器 依次按工藝要求在被測(cè)平面的分布點(diǎn)上，讀取每一個(gè)位置相對(duì)于激光平面垂直于平面方向上的偏移量。在主機(jī)里將這些數(shù)據(jù)記錄后，按工藝要求選擇三點(diǎn)作為基準(zhǔn)，這樣，其他點(diǎn)的偏差量就會(huì)計(jì)算出來。

2.軟件數(shù)據(jù)處理

大量的被測(cè)數(shù)據(jù)經(jīng)主機(jī)處理后，可根據(jù)不同工藝要求得出相應(yīng)的結(jié)果，如：

NumRef       Value

X1 Y1Ref      0.000  

X1 Y2        -0.070

X1 Y3      0.407

X1 Y4        -0.055

X1 Y5Ref      0.000

X2 Y1      0.136

X2 Y2      0.202

X2 Y3      0.291

X2 Y4      0.052

X2 Y5     -0.181

X3 Y1      0.348

X3 Y2      0.294

X3 Y3      0.069

X3 Y4      0.096

X3 Y5Ref      0.000

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Max         0.407

Min         -0.181

Peak-Peak     0.588

Average level  0.106

Standard dev.  0.139

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Flatness Rms      0.138

①工藝只加墊片， 則選最高三點(diǎn)為基準(zhǔn)，其余數(shù)據(jù)全為負(fù)值，負(fù)多少，則加多少墊片。

②工藝只能打磨，則選zui低三點(diǎn)基準(zhǔn)，其余數(shù)據(jù)為正值，正多少，則打磨多少。

③工藝既可加墊片，又可打磨，則可優(yōu)化自動(dòng)選三點(diǎn)基準(zhǔn)，使其加工量最小。

④關(guān)鍵點(diǎn)在中央?yún)^(qū)，則可選取中央?yún)^(qū)為基準(zhǔn)。

⑤關(guān)鍵點(diǎn)在邊緣區(qū)，則可選邊緣區(qū)為基準(zhǔn)。

⑥數(shù)據(jù)結(jié)果有平面度有效值，偏差峰峰值，平均平面，標(biāo)準(zhǔn)等參數(shù)供選取。

3.激光測(cè)量法的優(yōu)點(diǎn)

①高精度，該系統(tǒng)可在R≦40m范圍內(nèi)，保證0.001mm的精度，傳統(tǒng)的方式一般在0.01—0.1mm精度。

②測(cè)量范圍大，因激光無撓影響，故可測(cè)量R≦40m的平面，而傳統(tǒng)方式，這樣大平面根本無法測(cè)試。

③人為誤差小，傳統(tǒng)辦法測(cè)量時(shí)，不同操作人員因鋼絲松緊、人工讀數(shù)等人為因素，數(shù)據(jù)受人為因素影響較大。而激光測(cè)量法由儀器自動(dòng)讀取數(shù)據(jù)，人為誤差大大減小。

④強(qiáng)大數(shù)據(jù)處理功能，見二介紹，而傳統(tǒng)方式數(shù)據(jù)需要人工處理，工作量大，誤差大。

4．與傳統(tǒng)方法比較